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Tropel UltraSort II美国Corning平面度测量仪

具有可定制测量组件的全自动晶圆平整度计量平台。

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UltraSort II是一个灵活的,高通量的全自动平台,该平台集成了任何Tropel晶圆平整度测量系统,可提供SEMI M1中所述的全表面弯曲,翘曲,TTV和步进仿真参数。 UltraSort II还可以接受其他模块,包括其他暗盒,另一个干涉仪,OCR,ROA等。 系统模块化使您可以从自动晶圆平整度检查系统中获得更多价值。 UltraSort II平台旨在实现全面的工厂自动化,包括SECS / GEM,GEM 300主机系统以及其他自定义数据导出系统。

Tropel UltraSort II美国Corning平面度测量仪

重要技术参数

晶片可用配置

符合CE标准
2”-6” 打开的暗盒
符合S2 / S8标准
4”-8” 打开的暗盒
ISO 9001:2015, 9014:2015, 14001
300mm FOUP

通量


FlatMaster夹紧/松开
150 wph
FlatMaster夹紧/松开/厚度
120 wph
FlatMaster MSP夹紧/松开/厚度
60 wph

Tropel UltraSort II美国Corning平面度测量仪
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